Kakaretso ea Epitaxy ea Molecular Beam (MBE)
Theknoloji ea Molecular Beam Epitaxy (MBE) e ile ea ntlafatsoa lilemong tsa bo-1950 ho lokisa thepa ea filimi e tšesaane ea semiconductor ho sebelisoa theknoloji ea mouoane oa vacuum. Ka nts'etsopele ea theknoloji ea vacuum e phahameng haholo, ts'ebeliso ea theknoloji e atolositsoe ho ea lefapheng la mahlale a semiconductor.
Tšusumetso ea lipatlisiso tsa lisebelisoa tsa semiconductor ke tlhoko ea lisebelisoa tse ncha, tse ka ntlafatsang ts'ebetso ea sistimi. Ka lehlakoreng le leng, theknoloji e ncha ea thepa e ka hlahisa lisebelisoa tse ncha le theknoloji e ncha. Epitaxy ea mahlaseli a molecular (MBE) ke theknoloji e phahameng ea vacuum bakeng sa kholo ea lera la epitaxial (hangata semiconductor). E sebelisa mahlaseli a mocheso a liathomo tsa mohloli kapa limolek'hule tse amang substrate e le 'ngoe ea kristale. Litšobotsi tsa vacuum tse phahameng haholo tsa ts'ebetso li lumella metallization ea in-situ le kholo ea lisebelisoa tsa insulating holim'a libaka tsa semiconductor tse sa tsoa holisoa, e leng se fellang ka li-interface tse se nang tšilafalo.
Theknoloji ea MBE
Epitaxy ea mahlaseli a limolek'hule e ne e etsoa ka har'a vacuum e phahameng kapa vacuum e phahameng haholo (1 x 10).-8Tikoloho ea Pa). Karolo ea bohlokoa ka ho fetisisa ea epitaxy ea mahlaseli a limolek'hule ke sekhahla sa eona se tlase sa ho beoa, seo hangata se lumellang filimi ho hola ka lebelo le ka tlase ho 3000 nm ka hora. Sekhahla se tlase joalo sa ho beoa se hloka vacuum e phahameng e lekaneng ho fihlela boemo bo tšoanang ba bohloeki le mekhoa e meng ea ho beoa.
Ho fihlela vacuum e phahameng haholo e hlalositsoeng kaholimo, sesebelisoa sa MBE (Knudsen cell) se na le lera la ho pholisa, 'me tikoloho ea vacuum e phahameng haholo ea kamore ea kholo e tlameha ho bolokoa ho sebelisoa sistimi ea potoloho ea naetrojene e metsi. Naetrojene e metsi e pholisa mocheso oa kahare oa sesebelisoa ho fihlela ho 77 Kelvin (−196 °C). Tikoloho ea mocheso o tlase e ka fokotsa haholo litaba tsa litšila ka har'a vacuum 'me ea fana ka maemo a betere bakeng sa ho beoa ha lifilimi tse tšesaane. Ka hona, sistimi e inehetseng ea potoloho ea ho pholisa naetrojene e metsi ea hlokahala bakeng sa lisebelisoa tsa MBE ho fana ka phepelo e tsoelang pele le e tsitsitseng ea naetrojene e metsi ea -196 °C.
Sistimi ea Potoloho ea Naetrojene e Pholisang
Sistimi ea potoloho ea ho pholisa ea naetrojene e nang le vacuum e kenyelletsa haholo-holo,
● tanka e bakang ho ruruha ha letlalo
● phaephe e ka sehloohong le e nang le jekete ea vacuum / phaephe e nang le jekete ea vacuum
● Phaephe e khethehileng ea karohano ea MBE le phaephe ea mosi e nang le vacuum jacket
● li-valve tse fapaneng tse nang le vacuum jackets
● thibelo ea khase le metsi
● sefe se nang le jekete ea vacuum
● tsamaiso ea pompo ea vacuum e matla
● Sistimi ea ho futhumatsa pele e phola le ho hloekisa
Khamphani ea Lisebelisoa tsa HL Cryogenic e hlokometse tlhoko ea sistimi ea ho pholisa ea naetrojene ea metsi ea MBE, mokokotlo o hlophisitsoeng oa botekgeniki ho nts'etsapele ka katleho sistimi e khethehileng ea ho phutholla naetrojene ea metsi ea MBE bakeng sa theknoloji ea MBE le sete e felletseng ea insulate ea vacuum.edsistimi ea liphaephe, e 'nileng ea sebelisoa likhoebong tse ngata, liunivesithing le litsi tsa lipatlisiso.
Lisebelisoa tsa HL Cryogenic
HL Cryogenic Equipment e thehiloeng ka 1992 ke lets'oao le amanang le Khamphani ea Lisebelisoa tsa Chengdu Holy Cryogenic Chaena. HL Cryogenic Equipment e ikemiselitse ho rala le ho etsa Sistimi ea Liphaephe tsa Cryogenic e nang le Vacuum e Phahameng le Lisebelisoa tse amanang le eona.
Bakeng sa tlhahisoleseling e batsi, ka kopo etela webosaete ea semmusowww.hlcryo.com, kapa romela imeile hoinfo@cdholy.com.
Nako ea poso: Mots'eanong-06-2021
