Litaba - Morero oa Chip MBE o Phethiloe Lilemong tse Fetileng

Thekenoloji

Molecular beam epitaxy, kapa MBE, ke mokhoa o mocha oa ho holisa lifilimi tse tšesaane tsa boleng bo holimo tsa likristale holim'a likaroloana tsa kristale. Maemong a phahameng a phahameng a vacuum, setofo se futhumatsang se na le mefuta eohle ea likarolo tse hlokahalang 'me se hlahisa mouoane, ka masoba a entsoeng ka mor'a ho kopana ha sefate sa atomic kapa molek'hule, ente e tobileng ho mocheso o loketseng oa substrate e le' ngoe ea kristale, e laolang molek'hule. "Substrate scanning" ka nako e ts'oanang, e ka etsa limolek'hule kapa liathomo ka har'a likarolo tsa kristale ho theha filimi e tšesaane holim'a substrate. "kholo".

Bakeng sa ts'ebetso e tloaelehileng ea lisebelisoa tsa MBE, bohloeki bo phahameng, khatello e tlase le naetrojene ea metsi a hloekileng haholo e hlokahalang ho tsoela pele le ka mokhoa o tsitsitseng ho isoa kamoreng e pholileng ea thepa. Ka kakaretso, tanka e fanang ka naetrojene e nang le metsi e na le khatello ea tlhahiso pakeng tsa 0.3MPa le 0.8MPa.Naetrojene e metsi ho -196℃ e futhumatsoa habonolo hore e be naetrojene nakong ea liphaephe. Hang ha naetrojene ea mokelikeli e nang le karo-karolelano ea khase-mokelikeli oa hoo e ka bang 1:700 e tšetsoe ka khase pompong, e tla nka sebaka se seholo sa phallo ea naetrojene ea metsi le ho fokotsa phallo e tloaelehileng qetellong ea phaephe ea metsi ea naetrojene. Ho feta moo, ka tankeng ea polokelo ea naetrojene ea metsi, ho ka etsahala hore ho be le lithōle tse e-s'o hloekisoe. Phapeng ea naetrojene ea metsi, ho ba teng ha moea o metsi ho tla boela ho lebise molokong oa leqhoa. Haeba litšila tsena li kenngoa ka har'a thepa, li tla baka tšenyo e sa lebelloang ea thepa.

Ka hona, naetrojene ea metsi ka tanka ea polokelo ea ka ntle e isoa lisebelisoa tsa MBE sebakeng sa ho sebetsa se se nang lerōle ka katleho e phahameng, botsitso le ho hloeka, le khatello e tlaase, ha ho na naetrojene, ha ho na litšila, lihora tsa 24 tse sa sitisoeng, tsamaiso e joalo ea tsamaiso ea lipalangoang e. sehlahisoa se tšoanelehang.

E tsamaellanang le lisebelisoa tsa MBE

Ho tloha ka 2005, HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) e 'nile ea ntlafatsa le ho ntlafatsa tsamaiso ena le ho sebelisana le bahlahisi ba machaba ba lisebelisoa tsa MBE. Baetsi ba lisebelisoa tsa MBE, ho kenyeletsoa DCA, REBER, ba na le likamano tsa tšebelisano le k'hamphani ea rona. Baetsi ba lisebelisoa tsa MBE, ho kenyeletsoa DCA le REBER, ba sebelisane 'moho le merero e mengata.

Riber SA ke mofani ea ka sehloohong oa lefats'e oa lihlahisoa tsa molecular beam epitaxy (MBE) le litšebeletso tse amanang le tsona bakeng sa lipatlisiso tse kopanetsoeng tsa semiconductor le lisebelisoa tsa indasteri. Sesebelisoa sa Riber MBE se ka beha lisebelisoa tse tšesaane haholo holim'a substrate, ka li-control tse phahameng haholo. Thepa ea vacuum ea HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) e na le Riber SA Thepa e kholo ka ho fetisisa ke Riber 6000 'me e nyenyane ka ho fetisisa ke Compact 21. E boemong bo botle 'me e lemohuoe ke bareki.

DCA ke MBE e etelletseng pele lefatšeng ka bophara. Ho tloha ka 1993, nts'etsopele e hlophisitsoeng ea mekhoa ea oxidation, ho futhumatsa substrate ea antioxidant le mehloli ea antioxidant e entsoe. Ka lebaka lena, lilaboratori tse ngata tse etellang pele li khethile theknoloji ea DCA oxide. Sistimi ea composite semiconductor MBE e sebelisoa lefatšeng ka bophara. Sistimi e potolohang ea naetrojene ea VJ ea HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) le lisebelisoa tsa MBE tsa mefuta e mengata ea DCA li na le boiphihlelo bo ts'oanang mererong e mengata, joalo ka mohlala oa P600, R450, SGC800 joalo-joalo.