Theknoloji
Molecular beam epitaxy, kapa MBE, ke mokhoa o mocha oa ho holisa lifilimi tse tšesaane tsa boleng bo holimo tsa likristale holim'a li-substrate tsa kristale. Maemong a vacuum a phahameng haholo, ka setofo se futhumatsang se na le mefuta eohle ea likarolo tse hlokahalang 'me se hlahisa mouoane, ka masoba a entsoeng ka mor'a ho kopanya beam ea athomo kapa ea limolek'hule, ente e tobileng mochesong o loketseng oa substrate e le' ngoe ea kristale, e laola beam ea limolek'hule ho ea ho scan ea substrate ka nako e le 'ngoe, e ka etsa hore limolek'hule kapa liathomo tse ka har'a mekhahlelo ea ho hokahanya kristale li thehe filimi e tšesaane holim'a "kholo" ea substrate.
Bakeng sa ts'ebetso e tloaelehileng ea lisebelisoa tsa MBE, ho hlokahala bohloeki bo phahameng, khatello e tlase le naetrojene e metsi e hloekileng haholo hore e fetisetsoe ka mokhoa o tsitsitseng le o tsitsitseng ho ea kamoreng e pholileng ea lisebelisoa. Ka kakaretso, tanka e fanang ka naetrojene e metsi e na le khatello ea tlhahiso pakeng tsa 0.3MPa le 0.8MPa. Naetrojene e metsi ho -196℃ e fetoloa naetrojene habonolo nakong ea lipalangoang tsa liphaephe. Hang ha naetrojene e metsi e nang le karolelano ea khase le metsi ea hoo e ka bang 1:700 e kenngoa khase ka har'a phaephe, e tla nka sebaka se seholo sa phallo ea naetrojene e metsi 'me e fokotse phallo e tloaelehileng qetellong ea phaephe ea naetrojene e metsi. Ho phaella moo, ka tankeng ea polokelo ea naetrojene e metsi, ho ka etsahala hore ho be le lithōle tse sa hloekisoang. Ka phaepheng ea naetrojene e metsi, boteng ba moea o metsi le bona bo tla lebisa tlhahisong ea leqhoa. Haeba litšila tsena li ntšetsoa ka har'a lisebelisoa, li tla baka tšenyo e sa lebelloang lisebelisoa.
Ka hona, naetrojene e metsi e ka tankeng ea polokelo ea kantle e isoa lisebelisoa tsa MBE sebakeng sa mosebetsi se se nang lerōle ka katleho e phahameng, botsitso le bo hloekileng, 'me khatello e tlase, ha ho na naetrojene, ha ho litšila, lihora tse 24 ntle le tšitiso, sistimi e joalo ea taolo ea lipalangoang ke sehlahisoa se tšoanelehang.
Lisebelisoa tse tšoanang tsa MBE
Ho tloha ka 2005, HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) e ntse e ntlafatsa le ho ntlafatsa sistimi ena mme e sebelisana le bahlahisi ba lisebelisoa tsa machaba tsa MBE. Bahlahisi ba lisebelisoa tsa MBE, ho kenyeletsoa DCA, REBER, ba na le likamano tsa tšebelisano-'moho le k'hamphani ea rona. Bahlahisi ba lisebelisoa tsa MBE, ho kenyeletsoa DCA le REBER, ba sebelisane 'moho mererong e mengata.
Riber SA ke mofani ea ka sehloohong oa lefats'e oa lihlahisoa tsa molecular beam epitaxy (MBE) le lits'ebeletso tse amanang le tsona bakeng sa lipatlisiso tsa semiconductor ea metsoako le lits'ebetso tsa indasteri. Sesebelisoa sa Riber MBE se ka beha likarolo tse tšesaane haholo tsa thepa holim'a substrate, ka litsamaiso tse phahameng haholo. Sesebelisoa sa vacuum sa HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) se na le Riber SA Sesebelisoa se seholo ka ho fetisisa ke Riber 6000 'me se senyenyane ka ho fetisisa ke Compact 21. Se boemong bo botle 'me se se se ananetsoe ke bareki.
DCA ke MBE e etellang pele lefatšeng ka bophara ea oxide. Ho tloha ka 1993, nts'etsopele e hlophisitsoeng ea mekhoa ea oxidation, ho futhumatsa substrate ea antioxidant le mehloli ea antioxidant e 'nile ea etsoa. Ka lebaka lena, lilaboratori tse ngata tse etellang pele li khethile theknoloji ea oxide ea DCA. Litsamaiso tsa MBE tsa semiconductor tse kopaneng li sebelisoa lefatšeng ka bophara. Sistimi ea VJ e potolohang naetrojene ea metsi ea HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) le lisebelisoa tsa MBE tsa mehlala e mengata ea DCA li na le boiphihlelo bo tšoanang mererong e mengata, joalo ka mohlala oa P600, R450, SGC800 jj.
Tafole ea Tshebetso
| Setsi sa Fisiks ea Theknoloji sa Shanghai, Sekolo sa Mahlale sa Chaena |
| Setsi sa bo11 sa Mokhatlo oa Theknoloji ea Elektroniki oa Chaena |
| Setsi sa Li-semiconductors, Setsi sa Mahlale sa Chaena |
| Huawei |
| Sekolo sa Alibaba DAMO |
| Theknoloji ea Powertech Inc. |
| Delta Electronics Inc. |
| Suzhou Everbright Photonics |
Nako ea poso: Mots'eanong-26-2021
