Tlhahisong ea li-semiconductor, litsamaiso tsa kabo ea cryogenic li lebelletsoe ho etsa ho fetang feela ho fetisetsa naetrojene e metsi kapa argon ho tloha ntlheng e 'ngoe ho ea ho e 'ngoe. Mokelikeli o lokela ho lula o tsitsitse, o hloekile, 'me o le mohato o le mong ho fihlela moo o sebelisoang teng. Esita le tekanyo e nyane ea ho kenella ha mocheso e ka hlahisa khase ea flash, phetoho ea khatello, kapa tšilafalo ea mongobo e amang botsitso ba ts'ebetso.

Ke ka hooPipe e Kenngoeng ka Letsoholitsamaiso li sebelisoa hangata ho li-semiconductor fabs ho fapana le liphaephe tse tloaelehileng tse nang le foam insulated. Ha li kopantsoe le sesebelisoa se laoloang hantleSistimi ea Pompo ea Vacuum e Matla, ho dutla ha mocheso ka kakaretso ho ka dula ho le ka tlase ho 3 W/m ha ho ntse ho bolokwa botsitso ba vacuum ba nako e telele moleng wohle wa phetisetso.

Bakeng sa lits'ebetso tsa semiconductor, ho thibela vacuum ha ea lokela ho nkoa e le lera le sa sebetseng ho potoloha phaephe. ​​Ke sistimi e sebetsang ea mocheso e hlokang ts'ebetso e ka lekanngoang ea vacuum le ho bolokoa nako e telele. Libakeng tsa tlhahiso ea li-chip tse nepahetseng haholo, esita le keketseho e nyane ea mocheso oa metsi a salang e ka lebisa maemong a phallo ea mekhahlelo e 'meli a sitisang lipotoloho tsa ho pholisa, litsamaiso tsa tlhoekiso, kapa lisebelisoa tsa taolo ea ts'ebetso.

Hobaneng ha ho Futhumala ha Mocheso ho le Bohlokoa ho Mekhoa ea Semiconductor ea Cryogenic

Mohala o mong le o mong oa phetisetso ea cryogenic o angoa ke mefuta e meraro ea mantlha ea phetisetso ea mocheso:

• mahlaseli a phatlaletseng sebakeng sa selemo
• phetiso ea khase e bakoang ke limolek'hule tse setseng
• ho tsamaisa ka thata ka litšehetso le li-spacers

Ka mokhoa o hlophisitsoeng hantlePipe e Kenngoeng ka Letsoho, kgatello ya annular hangata e fokotseha ka tlase ho 1 × 10⁻⁴ Pa. Boemong boo ba vacuum, dimolek'hule tse setseng tsa khase di na le tsela e mahareng e lokolohileng e kgolo haholo ho feta lekhalo la annular, e leng se fokotsang haholo kgaso ya mocheso wa khase.

Phetiso ea mocheso o sebelisang mahlaseli a kotsi e laoloa ho sebelisoa ho kenya mocheso o nang le mekhahlelo e mengata (MLI). Ho kenya mocheso ho na le mekhahlelo e fapanyetsanang ea foil e bonahatsang le thepa ea sebaka se nang le motlakase o tlase. Ka bongata bo nepahetseng ba lera le mokhoa oa ho kenya, phallo ea mocheso o sebelisang mahlaseli a kotsi e ka fokotsoa ho ba li-watts tse 'maloa feela ka mithara e le' ngoe.

Tsela e setseng ea mocheso e tsoa haholo-holo litšehetsong tsa mechini. Ho fokotsa phello ena, hangata ho sebelisoa thepa e nang le motlakase o tlase joalo ka fiberglass ea G-10 kapa Torlon®. Litšehetso tsena li ntse li hloka matla a lekaneng a mechini ho mamella ho honyela ha mocheso, ho thothomela le ho romelloa ha litšisinyeho tsa lefatše nakong ea ts'ebetso.

Ha ho feta maeto a malelele a phetisetso, phapang pakeng tsa ho thibela ho kenngwa ha vacuum le ho thibela ho kenngwa ha foam e bonahala haholo. Sistimi ya ho thibela ho kenngwa ha vacuum e hlokometsweng hantle e ka boloka tshebetso e tsitsitseng ya mocheso ka dilemo tse ngata, ha ho thibela ho kenngwa ha foam butle-butle ho monya mongobo o tswang sepakapakeng. Hang ha mongobo o kena sebopehong sa ho thibela ho kenngwa ha insulation mme o hoama, bokgoni ba mocheso hangata bo fokotseha ha nako e ntse e ya.

Litsamaisong tsa kabo ea LN₂ ea semiconductor e sebetsang,liphaephe tse kentsweng ka vacuume ka fokotsa ho bela ha motlakase haholo ha e bapisoa le mela e tloaelehileng e kentsweng ka foam, haholo-holo mathateng a malelele a kantle kapa dihlooho tse kgolo tse sebetsang ka ho tswelang pele.

Sistimi ea Pompo ea Vacuum e Matla

Bothata bo bong ka lijakete tsa vacuum tse sa fetoheng ke hore boleng ba vacuum bo ka 'na ba fokotseha butle-butle ha lilemo li ntse li feta ka lebaka la ho tsoa ha khase, ho kenella ha helium, kapa ho lutla ha microscopic.

Ho sebetsana le sena, bophara bo boholoPipe e Kenngoeng ka Letsoholitsamaiso li ka hlomelloa kaSistimi ea Pompo ea Vacuum e Matla. Sistimi hangata e kenyelletsa tokisetso e nyane ea turbomolecular kapa pompo ea ho skrola e khutlisetsang vacuum ea annular nako le nako boemong ba eona ba pele ba moralo.

Maemo a vacuum a bewa leihlo ka ho tswela pele ho sebediswa di-gauge tsa cold-cathode. Pompo e sebetsa feela ha kgatello e nyoloha ka nqane ho sebaka seo e se behilweng, kahoo tshebediso ya matla le ditlhoko tsa tlhokomelo di dula di le tlase haholo.

Morerong o mong oa ntlafatso ea setsi sa semiconductor Hsinchu, Taiwan, sistimi ea ho pompa vacuum e laoloang ka mafolofolo e ile ea lumella hlooho ea phetisetso ea LN₂ e tsofetseng ho khutlisa ts'ebetso ea mocheso haufi le boemo ba eona ba pele ba ts'ebetso ntle le ho koala mohala oa tlhahiso. Bakeng sa merero e mecha, tlhokomelo ea vacuum e sebetsang e boetse e fa basebetsi kholiseho e betere botsitsong ba ho thibela ho ruruha ba nako e telele ho pholletsa le bophelo bohle ba ts'ebeletso ea sistimi.

Lisebelisoa le Moralo oa Sistimi

Bakeng sa lits'ebetso tsa semiconductor le bohloeki bo phahameng haholo, phaephe ea ts'ebetso ea kahare hangata e etsoa ka tšepe e sa hloekang ea 304L kapa 316L. Libaka tse ka hare lia hloekisoa, lia hloekisoa, 'me lia fetoloa hore li finyelle litlhoko tsa ts'ebeletso ea ho hloekisa oksijene le ho fokotsa kotsi ea tšilafalo.

Jakete ya ka ntle e ka sebedisa tshepe ya khabone e pentiloeng kapa tshepe e sa ruseng ho latela tikoloho ya ho kenya. Dibakeng tse haufi le kamore e hlwekileng, dijakete tsa ka ntle tse sa ruseng hangata di kgethwa ho qoba ho bola kapa tshilafatso ya bokahodimo.

Ho honyela ha mocheso le hona ho hloka ho nahanoa ka hloko. Mohala oa phetisetso ea LN₂ o ka honyela hoo e ka bang 2.5–3 mm ka mithara pakeng tsa mocheso o potolohileng le mocheso o sebetsang. Ho monya motsamao ona, hangata li-compensator tsa katoloso ea mofuta oa bellows li kenngoa libakeng tse baloang tsa ankora ho pholletsa le marang-rang a liphaephe.

Moo ho hlokahalang motsamao kapa ho tenyetseha,Hose e Tenyetsehang e Kenngoeng ka VacuumDikopano di sebediswa hangata. Libaka tse tlwaelehileng di kenyeletsa dikgokelo tsa ditanka, dihokelo tsa disebediswa, makala a mangata, le di-skid tsa tsamaiso tse tsamayang.

Liphaephe tsena tse tenyetsehang li sebelisa karolo e ka hare e kobehileng hammoho le jase ea vacuum le sebopeho sa MLI se tšoanang le phaephe e thata ea vacuum. Likopano tse entsoeng hantle li ka boloka botšepehi ba vacuum kamora ho potoloha khafetsa ha mocheso oa cryogenic ha ka nako e ts'oanang li thibela ho thehoa ha leqhoa la kantle ho tloaelehileng liphaepheng tse lohiloeng tse sa keneng mocheso.

Li-valve tse nang le vacuum cleanerleLikarohano tsa Mekhahlelo

Ho laola ho dutla ha mocheso ha ho felle feela likarolong tse otlolohileng tsa liphaephe.ba arolang mekhahlelohape e bapala karolo e kholo ho bolokeng maemo a tsitsitseng a phallo ea cryogenic.

A Valve e Sirelelitsoeng ea Vacuumhangata e sebedisa bonete e atolositsweng le mmele o kentsweng ka vacuum ho boloka dibaka tsa bohlokwa tsa ho kwala hole le mocheso o tlase haholo. Sena se thusa ho thibela ho hoama ho potoloha ho paka ha kutu le ho fokotsa ho koloba ho sa batleheng ka hare ho sebopeho sa valve.

Ntle le ho thibela ho kenngwa ha vacuum, di-valve di ka fetoha dintlha tse kopaneng tsa ho dutla ha mocheso ka hara sistimi. Tshebeletsong ya cryogenic ya metsi, sena se ka hlahisa dipokotho tsa mouoane tse sebakeng seo, maemo a phallo a sa tsitsang, kapa diketsahalo tsa hamore ya metsi.

Bakeng sa litsamaiso tsa ts'ebetso ea semiconductor, li-valve tsa globe tse atolositsoeng tsa bonnet le li-valve tsa bolo tse kenang ka holimo li sebelisoa hangata ho latela litlhoko tsa ASME B31.3 le EN 13480.

A Sekhaohano sa Mokhahlelo o Insulated oa Vacuume sebediswa ho tlosa kgase ya flash pele mokelikeli o kena disebedisweng tse bonolo tse theohelang tlase. Ditshebedisong tsa semiconductor, phallo e sa tsitsang ya mekhahlelo e mmedi e ka baka ho fetoha ha kgatello ho lekaneng ho baka dialamo tsa tshebetso kapa dinotlolo tsa disebediswa.

Meralo e mengata ea karohano e sebelisa lesoba la tangential hammoho le sebopeho sa demister sa kahare ho ntlafatsa katleho ea karohano ea mouoane le mokelikeli. Mererong e mengata, karohano e kopantsoe le Mini Tank e kentsoeng haufi le mokatong oa ts'ebetso. Tanka e nyane e sebetsa e le bophahamo ba buffer ba lehae bo thusang ho tsitsisa liphetoho tsa tlhoko ea nako e khuts'oane ntle le ho hlahisa mojaro o eketsehileng oa mocheso.

Mohlala oa Morero oa Semiconductor

Morero oa katoloso ea setsi sa DRAM Korea Boroa o ne o hloka marang-rang a macha a kabo ea LN₂ a fanang ka lisebelisoa tsa teko tse pholileng ka ho qoelisoa le lisebelisoa tsa ho sebetsana le li-wafer.

Ho kenngwa hona ho ne ho kenyelelitse Phaephe e tiileng e nang le Vacuum Insulated e bolelele ba dimithara tse ka bang 180 e hokahantsweng le makala a mangata a disebediswa ka dikopano tsa Vacuum Insulated Flexible Hose. Sekarohano sa Mokgahlelo wa Vacuum Insulated le Tanka e Nyane ya 2 m³ di kentswe haufi le sebaka sa polokelo ya bongata.

Sistimi ea Pompo ea Vacuum e Matla e bolokile khatello ea annular e ka tlase ho 5×10⁻⁶ mbar meleng e meholo ea phetisetso ea lisenthimithara tse 6.

Nakong ea ho qala ho sebetsa, ho lekanyetsoa ha ho lutla ha mocheso hloohong ea mantlha ho ne ho lekana le karolelano ea hoo e ka bang 1.3 W/m tlas'a maemo a tsitsitseng a ts'ebetso. Kamora selemo se le seng sa ts'ebeletso e tsoelang pele, lipotoloho tsa nako le nako tsa ho hlaphoheloa ha vacuum li ile tsa boloka ts'ebetso ea ho thibela ho ruruha e le haufi le boemo ba pele ba pele.

Ha ho bapisoa le mohopolo oa pele oa ho kenya foam ka har'a insulation, setsi se tlalehile tahlehelo e tlase ea naetrojene ea metsi le botsitso bo ntlafetseng ba ts'ebetso. Litlaleho tsa ts'ebetso le tsona ha lia ka tsa bontša liketsahalo tse amanang le tšilafalo e amanang le mongobo e amanang le ho senyeha ha insulation.

Likopo

Mekhoa ea phetisetso ea cryogenic e kenngoeng ka vacuum e sebelisoa haholo tlhahisong ea li-semiconductor, meralo ea motheo ea LNG, kabo ea khase ea indasteri, le lits'ebetsong tsa haeterojene ea metsi.

Leha maemo a tshebetso a fapana, sepheo sa boenjiniere se ntse se tshwana:

• boloka botsitso ba vacuum
• fokotsa ho kena ha mocheso
• boloka botsitso ba mohato ho pholletsa le ts'ebetso ea phetisetso

Moralo oa sistimi hangata o latela maemo a machaba a kang ASME B31.3, EN 13480, le ISO 21029 ho latela boholo ba projeke le litlhoko tsa libaka.

Bakeng sa lits'ebeletso tsa semiconductor, ts'ebetso ea sistimi ea kabo ea cryogenic e ama ka kotloloho katleho ea ts'ebetso, tšebeliso ea metsi, le ts'epo ea ts'ebetso ea nako e telele. Ka lebaka leo, liphaephe, li-valve, li-apartator le litsamaiso tsa tlhokomelo ea vacuum li lokela ho etsoa e le sistimi e le 'ngoe e kopaneng ea mocheso ho fapana le likarolo tse ikemetseng.

At HL Cryogenics, re sebetsa le borakonteraka ba EPC, lik'hamphani tsa khase, le libaka tsa semiconductor ho nts'etsapele litharollo tsa phetisetso ea cryogenic ho latela maemo a sebele a ts'ebetso, lipheo tsa mojaro oa mocheso, le litlhoko tsa ho kenya ho fapana le litlhophiso tse tloaelehileng tsa kataloge.

Haeba o rera projeke e ncha ea semiconductor fab kapa o ntlafatsa marang-rang a kabo a LN₂ a seng a ntse a le teng, sehlopha sa rona sa boenjiniere se ka thusa ho lekola ts'ebetso ea ho lutla ha mocheso, leano la vacuum, le tlhophiso ea sistimi bakeng sa ts'ebetso ea nako e telele.